【先進制造】【電子信息】***********復(fù)雜微結(jié)構(gòu)*維光學顯微測量技術(shù)(哈工大儀器學院)

【成果簡介】

突破復(fù)雜微結(jié)構(gòu)表面測量瓶頸和高精密光學元件亞表面缺陷檢測難題，研制復(fù)雜微結(jié)構(gòu)*維光學顯微測量儀。儀器集成明場、暗場、熱波和熒光*種*維顯微成像模態(tài)，可實現(xiàn)表面與亞表面高精度*體化*維測量，同時具備缺陷吸收性評估和識別功能。通過選擇不同模塊和配件，滿足各種個性化的測量需求。

【技術(shù)指標】

顯微視場≥***μ*****μ*水平方向表面顯微分辨率≤*****水平方向亞表面顯微分辨率≤*****垂直方向測量范圍*μ*~**μ*垂直方向分辨≤****光滑微結(jié)構(gòu)測傾斜角度≥**°；單*材料臺階高度測量誤差≤*%多層材料臺階高度測量誤差≤*%亞表面缺陷檢測深≥***μ*缺陷檢出靈敏度≤*****深度定位精度≤*μ*。

【應(yīng)用前景】

成果儀器可應(yīng)用于高能激光領(lǐng)域，實現(xiàn)高能光學元件表面與亞表面缺陷測量可應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域，實現(xiàn)芯片特征尺寸測量。

【聯(lián)系人及聯(lián)系方式】

喬老師，****-********

馬老師，****-********

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