發布公告
| 更新時間 | 2025-09-04 | 招標單位 | 我要查看 |
| 截止時間 | 我要查看 | 招標編號 | 我要查看 |
| 項目名稱 | 我要查看 | 代理機構 | 我要查看 |
| 關鍵信息 | 我要查看 | 招標文件 | 我要查看 |
每天更新 70000 條招標信息
涵蓋超過 1000000 家招標單位
| 項目名稱 | 微納米結構制備系統項目 | 項目編號 | ******-******** |
| 公告發布日期 | ****/**/** **:** | 公告截止日期 | ****/**/** **:** |
| 采購單位 | 中北大學[聯系方式] | 付款條款 | 驗收合格后，**個工作日內支付全款。 |
| 聯系人 | 中標后在我參與的項目中查看 | 聯系手機 | 中標后在我參與的項目中查看 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘聯系人 | 踏勘聯系電話 | ||
| 踏勘地點 | 踏勘聯系時間 | ||
| 采購預算 | ￥***,***.** | ||
| 送貨/施工/服務期限 | 合同生效之日起*個工作日內 | ||
| 送貨/施工/服務地址 | 山西省太原市尖草坪區學院路*號中北大學[聯系方式]主樓*層 | ||
| 履約保證金 | 無 | ||
| 項目概況 | 本項目旨在以≤****精度實現納米結構傳感器，解決光學光刻精度不足、電子束光刻成本過高及***技術封鎖痛點。配套在線檢測與**工藝優化，實現高產能及**%良率，突破高深寬比**結構制造瓶頸，支撐納米器件產線。 | ||
| 采購內容 | 是否進口 | 計量單位 | 采購數量 | 售后服務及其他要求 | |
| 微納米結構制備系統 | 否 | 臺 | * | *、要求提供原廠技術人員現場安裝培訓，達到用戶基本掌握設備的使用方法為標準。 *.售后服務要求 （*）質保期*年（自驗收合格之日起計算），質保期內免費保修（人為因素除外），即質保期內對所有貨物進行免費無償維護服務，如果出現非人為因素的質量問題，免費予以維護。 （*）服務響應時間,在接到客戶要求維護的通知后，由專業人員*小時內響應，**小時內提出具體解決方案，**小時內專業技術人員上門現場解決，使設備盡快恢復正常。 | |
| 參考品牌及型號 | 不限定品牌型號 | ||||
| 技術參數要求 | *、支持母版和壓印基底尺寸：最大*英寸直徑晶圓，兼容*英寸、*英寸直徑晶圓。*、壓印過程中實現全自動壓印和脫模過程，無需手動脫模。*、工作原理：采用高精度輥輪系統作為壓印動力，實現***** ** *****的漸近式壓印。*、壓印壓力：壓印壓力可在 *****-******** 之間通過軟件設置，精密比例閥控制壓力。*、壓印速度可在軟件中設置，設置范圍*.*-****/*。*、設備配置主機和獨立的工作模具更換單元。*、工作模具使用***作為工作模具膠的支撐襯底，***厚度可使用*****或*****，***尺寸為**。*、曝光單元：光源波長*****，最大功率可達*****/***，曝光均勻性≥**%*、基底加熱系統：軟件控溫，加熱溫度室溫至 **°*，溫度均勻性：±*%，溫度設置精度：±*°***、壓印參數可在軟件控制界面編輯，存儲，壓印參數配方可保存 *** 組，可對參數配方進行調用，修改，刪除等操作。**、可按照設定的壓印過程自動執行，也可在 ******* 界面中對設備動作單獨操作。**、帶有各報警功能，當操作者誤操作或者設備故障時會彈出相應報警對話框，便于及時處理 問題壓印過程實時動畫演示，便于操作者了解工藝進程。**、轉印精度誤差：小于±*%**、殘余層厚度：可達****及以下。測試方法為連續壓印**片，選取第*、*、**片壓印片，片內測試任意*點。**、殘余層均勻性：驗收過程中廠家可證明 ***** 晶元面積內優于±****（非設備極限，扣除測量以及勻膠產生的誤差）**、壓印線寬：壓印結構精度最小可達****，驗收過程中由廠家提供模具，證明可壓印****結構精度**、壓印結構深寬比：*.*:* | ||||
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