采購內容:***設備；

主要功能或目標:設備主機規格：用于*英寸及小尺寸樣品。 反應腔系統：雙腔結構；樣品臺單獨加熱；進樣方式：樣品臺電動升降，樣品手動轉載。 前驅體源輸送系統：反應源與金屬前驅體源單獨進入反應腔體。配備*路前驅體源輸送管路；常溫源：配備*孔***閥門、源手動閥；加熱源：配備*孔***閥門、源手動閥；載氣輔助源：配備*孔***閥門、載氣脈沖***閥門、源手動閥、***；載氣管路采用**或者**氣體，通過質量流量控制器控制；配備惰性氣體自清洗系統。 真空系統：采用雙級油封式真空泵。 控制系統：***+工業觸摸屏方式；支持靈活擴展通信方式；可實現配方編輯、保存、讀取等功能；所有***閥門具備自動排空功能，所有管線具備自動清洗功能；可進行溫度***參數自整定、前驅體標簽修改等；可實時顯示加熱狀態、閥門開關狀態、壓力曲線、等離子體功率曲線、鍍膜進度；可實時監測動力氣體壓力值、加熱狀態、閥門開關狀態等。 等離子體源及控制：遠程***等離子體系統，等離子體發生腔獨立于反應腔室，與反應腔以標準*****接口連接；獨立的等離子體工藝氣體系統，等離子體工藝氣體*路，每路均包含***控制，可選**、**、**、***或**；采用**.** ***射頻電源。 需滿足的要求:項目建設后，建成并投入使用實驗室能夠提升學校辦學與科研設施設備水平，其中原子層沉積系統（***）具備原子級薄膜制備能力，針對多孔、高深寬比的襯底結構可實現表面沉積高均勻性、保型性、低缺陷的*****、****、***等高質量薄膜制備。***設備符合國家、行業、地方規定的質量和安全標準。****