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比比招標網> 中標公告 > [HF20253543]鉭酸鋰薄膜上的啁啾型諧振器加工成交公告
| 更新時間 | 2025-11-25 | 招標單位 | 我要查看 |
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*.項目名稱：鉭酸鋰薄膜上的啁啾型諧振器加工
*.成交供應商名稱：武漢高芯科技有限公司
*.成交供應商地址：湖北省武漢市東湖開發區黃龍山南路*號*號樓
*.成交金額(折合人民幣)：*****元
*.付款方式：服務完成且驗收合格后*個工作日之內付合同金額***%。
*.主要成交標的：
序號 | 服務內容 | 服務期限 |
* | 提供鉭酸鋰薄膜襯底，對壓電薄膜所在上表面拋光，襯底下表面為磨砂面。 | 合同簽訂后*個月內 |
* | 設計諧振器的版圖，并加工高精度石英掩模版 | 合同簽訂后*個月內 |
* | 使用光刻和鍍膜，在鉭酸鋰薄膜晶圓表面制備啁啾型諧振器。在諧振器表面制備****絕緣層，使用***對絕緣層表面進行拋光 | 合同簽訂后*個月內 |
* | 使用劃片機將制備有諧振器的晶圓劃片 | 合同簽訂后*個月內 |
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華中科技大學集成電路學院
****年**月**日
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