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申請單位：中科院過程工程研究所南京綠色制造產業創新研究院

設備名稱：電感耦合等離子質譜儀、多功能*射線、肖特基場發射掃描電鏡-拉曼光譜關聯測試系統

專家論證意見：

電感耦合等離子質譜儀分析目標元素時，關鍵技術參數：靈敏度、檢出限、背景噪音等，如下：

*，靈敏度【***/***】：低質量數：**(*) ≥*** *，中質量數：*(**)或**(***) ≥*** *

高質量數：**(***) ≥*** *或*(***) ≥*** *

*，檢測限【*******，***】：**(*) ≤ *.* ***，**(***) ≤ *.** ***，**(***) ≤ *.** ***

*，背景：≤*.* *** （在質量數*和*** ***，即元素**和*處測定實際背景）

*，氧化物產率(***+/**+) ：≤*.* %

*，雙電荷產率(***+/**+)：≤*.* %

*，豐度靈敏度：低質量端≤ * * **-**；高質量端≤ * * **-**；

*，短期穩定性(***)： ≤*% (** ***)

*，長期穩定性(***)： ≤*% (* ***)

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多功能*射線衍射需要如下配置及功能應用：

*.**靶和**靶光管各*支：長細焦斑*.*×****，材質金屬陶瓷

*.**靶聚焦光鏡*個

*.毛細管樣品臺*個，高溫臺*個（溫度范圍**-****℃，樣品臺高度隨溫度自補償）

*.高能矩陣探測器：適用于**-**的*射線，接收效率***%，分辨率**μ*，探測器面積****×****。

*.功能需求：晶體結構(物相)分析，*射線小角散射，原子對分布函數分析，高溫原位物相分析等功能。

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擬采購的設備主要參數如下：

*）?電子光學系統分辨率：*.***@**** （*次電子），*.***@***（非樣品臺減

速模式）；

*）?*軸優中心電動樣品臺，移動最大范圍：*=*****，*=*****，*=****，傾斜范圍-*°到**°，旋轉***°（連續旋轉），單張圖片存儲分辨率可達*******；

*）樣品室真空度：全無油真空系統，高真空模式優于*×**^-*?**，電子槍真空度：**^-***數量級；

*）拉曼則要求光路中具備擴束器，保證激光聚焦點實現理論最小值；激光聚焦焦平面光斑尺寸連續可調，并能連續改變到樣品上的激光功率密度，適合信號弱且怕燒樣品的檢測；

*）***圖片可以與拉曼*******的結果完美匹配，既能看到高分辨***圖像，也能看到拉曼面分布。

掃描電子顯微鏡是材料科學，半導體科學，化學工程科學，地球科學，生命科學等領域形貌，元素分布和晶體取向信息表征的必要儀器設備之*。激光共聚焦拉曼光譜則是材料的化學與結構特點，例如官能團，對稱群，點陣缺陷，以及材料的結晶度，應力等詳細的信息表征的必要儀器設備之*。原位系統則除了能夠實現單獨的兩臺設備所具有的所有功能之外，還可以實現同區域多種信息相互疊加，實現同區域多種技術表征，獲得更多的信息。該系統的分辨率指標，樣品臺行程，系統真空度，以及拉曼靈敏度和激光功率可調節性都是核心指標。根據中科院過程工程研究所南京綠色制造產業創新研究院*幾科研需求，需要購置分辨率高，樣品臺行程較大，真空度高的原位掃描電鏡拉曼系統以保證提供有力的分析數據，為科學研究提供更真實直觀的數據支撐。目前國內產品還處于初期發展階段，而引進過程先進成熟的原位掃描電鏡拉曼系統才可以解決中科院過程工程研究所南京綠色制造產業創新研究院在綠色化學，先進材料制備及產業化，高純粉體材料合成，環境保護材料以及生物醫藥等研究領域的測定工作，對于綠色制造領域心技術孵化與發展起到關鍵推動作用。

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特此公示，建議允許采購進口產品。如對此有異議，請于 ****年*月**日 （公示期起*個工作日內）下午**:**前攜書面材料與以下聯系人聯系。在該期限后提出的申請將不再受理。

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聯系人：仇卉???? 聯系電話：***-********

傳真：***-********

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南京市財政局政府采購管理處

****年*月*日

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