*.* 機外殼采用優(yōu)質冷軋鋼鋼板烤漆處理制造，內膽為醫(yī)用專用不銹鋼****材料制成；加熱器均勻分布在內膽外壁*周，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體*目了然。 *.* 箱門閉合松緊能調節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度。 *.* 微電腦智能控溫儀，具有設定，測定溫度雙數字顯示和***自整定功能，控溫 精確，可靠。 *.* 智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本*菱***模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每*程序時間。 *.* ****氣體密閉式自動吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保****氣體無外漏顧慮。整個系統(tǒng)采用優(yōu)質材料制造，無發(fā)塵材料，適用***級光刻間凈化環(huán)境。 *.* ****管路加熱功能，使****液體進入箱體的前端管路加熱，使轉為****氣態(tài)時更易. *.* 低液報警裝置，采用國際領先的液體感測器，能及時靈敏給出指令（當**** 液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能） *.* 溫度與***聯(lián)動保護功能（當***沒有啟動程序時，加溫功能啟動不了，相反加溫功能啟動時，***程序不按正常走時也及時切斷工作功能，發(fā)出警報） *.*整個箱體及****氣體管路采用******醫(yī)用專用不銹鋼材料，整體使用無縫焊接避免拼接導致****液體腐蝕外泄對人體的傷害） *.** 設備自帶溫度記錄及壓力記錄（能及時找到異常） *、整機尺寸、真空腔體尺寸： *.* 內膽尺寸：*************) 外尺寸************** 容積：*** *.* 載物托架：*塊 *.* 室溫+**℃-***℃ 控溫范圍：溫度分辨率：*.*℃ 溫度波動度：±*.*℃ *.* 真空泵：干泵（選配）愛德華***或者鮑斯干泵。真空度：*****， *.* 加熱方式：*面加熱。 *.* 可放*寸晶圓片或*寸晶圓片；*寸晶圓片*寸晶圓片等。 *.*開箱溫度可以由****自行設定來降低*******時間（正常工藝在**分鐘-***分鐘(按產品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間（因降溫時間為常規(guī)降溫）；

按行業(yè)標準提供服務，質保*年