*.主要應用于樣品表面清潔、活化、鍵合、去膠、金屬還原、簡單刻蝕、表面有機物去除、疏水實驗、鍍膜前處理等，免維護，無需任何耗材。 *.***工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。 *.**** 高效過濾，氣體返填吹掃，防止*次污染。 **.*寸彩色觸摸屏互動操作界面，圖形化用戶操作界面顯示，自動監測工藝參數狀態，**個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數據，機器運行、停止提示。 *.單路氣體控制。流量范圍*-********。 *.真空壓力傳感器采用進口品牌霍尼韋爾(*********)。 *.氣體浮子流量計采用進口品牌德威爾(*****)，流量控制準確。 *.石英真空艙，全真空管路系統采用***不銹鋼材質，耐腐蝕無污染。 *.電感式等離子激發方式。**.自動匹配器。 **.采用 **度傾角操作面板設計，符合人體功能學，操作方便，界面友好。 **.艙體尺寸*********。 ***.艙體容積 *.**。 ***.射頻頻率**.*****，射頻功率*-****無極可調，工作功率**-****。 **.時間設定*-**分** 秒。**.氣體穩定時間·*分鐘。 **.真空度要求 *****以內，可預設真空*-*****，精確度***。 **.電源 ****·**/****，電流*.**。 **.外形尺寸*************(*****)，整機重量****。 **.真空泵抽氣速率**/小時，極限真空*.****，進排氣連接口****/**。

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