主要技術參數： *．處理腔體 *.* ***** 芯片尺寸至少滿足 **-***** 直徑的材料，方片 *********，無需 更換片托； *.* 腔體具有易清潔的 *** 天然聚丙烯材質； *. 轉動馬達 *.* 轉動速度至少滿足 *-**,******， *.* 旋涂加速度不小于 **,******/***； *.* 馬達旋涂轉速穩定性能誤差不超過±*%； *. 控制系統 *.* 工藝時間設定范圍至少滿足 *-****.* ***/**** ，設定時間精度不超過 *.**； *.* 配有高精度 *** 可編程的控制器； *.* 可存儲不少于 ** 個程序段，每個程序段可設置不少于 ** 個不同步驟的速度 狀態； *.* *分辨率不超過 ****，重復性誤差不超過 ****，具有國際標準認證，并且 無需再校準； *.* *配有藍牙無線連接； *.* *帶自動滴膠、晶圓去邊 * 安全構造 *.* 電子絕緣負載雙保護裝置； *.* 嵌鎖的安全蓋板； *.* 防腐裝置； *.* *設有保護氣體裝置：旋涂過程中可以充氮氣或壓縮氣體，對旋轉馬達進行氣 流保護； * 系統附件 *.* * ******* 操作軟件； *.* 原裝進口水平測試儀； *.* 兩袋密封圈； *.* *配有兩套可更換的廢液接收單元； *.* 配套泵浦

售后服務 *.由原廠提供全新設備(包括*部件)，且設備的各*部件是產品出廠時的原始配置，設備質量符合國家質量檢測標準，提供設備校準證書。 *、整機*年內同*故障維修兩次仍不能正常使用可免費更換。 *、免費保修**個月。 *、不接受快遞物流送貨，交貨時出具制造商售后服務承諾函；由原廠指派制造單位技術人員，對采購單位的操作、維護人員免費進行技術指導和培訓。 *、合同設備出現故障時，供應商確保及時維修，并確保在接到用戶方服務要求，*小時內做出回應，電話指導不能排除的故障，*小時內現場進行服務。并承諾**小時內修復故障。