*：******** *****超精密加工設備年度保養服務內容為： *.更換靜壓油和油濾，清潔油箱 *. 更換機床氣源濾芯、電腦防塵濾網 *. 檢查供氣氣路和壓力 *. 檢查氣囊和平臺狀態并做相應調整 *. 檢查運動軸油孔壓力并確保運行正常 *.更換主軸冷卻水并檢查制冷機工作是否正常 *. 嵩吉油浮導軌及周邊 *. 檢測主軸相對*軸幾何精度 *. 檢測*-**-*幾何精度 **.檢測主軸相對*軸幾何精度 ** .檢查電器柜內強電和弱電各單元供電電壓是否正常 **. 更換電器柜**制冷機灰塵過濾網 **. 檢查光柵波形和電壓是否正常 **. 檢查機床軸控制精度，如必要可做精確調整 **.檢查快刀伺服模塊是否工作正常 **. 檢查*軸回轉是否工作正常 **. 檢查***磨頭是否工作正常 **. 檢查機床各部位氣壓表壓力是否正常 **. 檢查設備內部震動是否正常 **.檢查空調溫度和濕度是否符合要求 **.提供年度保養所需材料，清單如下： 包括過濾網(電腦用)、過濾網(電柜用)、空氣濾芯、空氣濾芯、油濾、靜壓導軌油料、埃克森美孚維蘿斯油**號和設備主軸冷水機恒溫冷卻液 ****** ******** *** *、******** *****超精密加工設備固有精度校正服務內容為： *． *軸直線度 *. *軸直線度 *. *-*軸垂直度 *. *-*軸垂直度 *. *-*軸垂直度

保養服務要求：供應商須嚴格依據設備原廠技術手冊、國家及行業相關標準開展年度保養工作，確保完成項目內容中所有所有服務。保養過程中使用的所有*部件、潤滑油、耗材等必須為原廠正品。 精度校正規范：固有精度校正工作需由具備專業資質且經驗豐富的技術人員操作，使用高精度檢測儀器，如激光干涉儀、球桿儀等進行校準。保證設備定位精度滿足設備工藝要求。