*、真空腔室：真空專用***不銹鋼腔室，**************；前開門結構，配內襯防污板； *、真空系統：****/*脂潤滑分子泵+**/*旋片式真空泵組成高真空抽氣系統，“*低*高”數顯復合真空計；配備氣動閥； *、真空極限：優于*.*×**-***；漏率：優于*×**-*****/*（國家標準）； *、抽速：抽氣時間：大氣壓~****-***小于*****；（氮氣破真空）； *、基片臺：可放下* **** 向下兼容；旋轉：*-**轉（連續可調）；水冷；源基距*** - *****可調，膜厚均勻性重復性優于+/-*%； *、蒸發源及電源：獨立水冷電極蒸發源*組；*.***蒸發電源恒壓恒流模式可選，數量：*臺；*托*切換蒸發； *、膜厚監測系統：進口*******公司，顯示控制精度*.**埃；配備*支進口*****水冷探頭； *、控制方式：西門子***+西門子觸摸屏手自動控制； *、報警及保護：對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施；完善的邏輯程序互鎖保護系統。 **、提供尾氣排放裝置。

*、為提供更好的服務，供應商必須在寧波設有獨立法人的分支機構，需提供原廠針對該項目的售后服務承諾書；*、要求供貨商在本地有固定服務點；*、中標商需上門安裝、調試并提供為期兩天的培訓；*、質保期內如需返廠維修，供貨商承擔來回費用。