*、測量參數(shù)：***/*****、*/*/*、折射率、厚度、介電常數(shù)等； ★*、光譜范圍：≥***-***** ； *、樣品對(duì)準(zhǔn)： ***相機(jī)可視化輔助對(duì)準(zhǔn)并調(diào)平樣件； *、光斑尺寸：≤***； ★*、膜厚重復(fù)性精度：≦*.***** （***** **** 硅片，** 次重復(fù)測量）； *、折射率重復(fù)性精度：≦*.**** @***.***，***** **** 硅片，** 次重復(fù)測量； *、退偏修正：軟件具有厚度不均勻***-**********，帶寬*********及數(shù)值孔徑*******等退偏修正模型（提供權(quán)威機(jī)構(gòu)出具的相關(guān)證書） *、數(shù)據(jù)測試與分析：至少具備*種不同的測量模式（標(biāo)準(zhǔn)/反射/透射/多角度/直通/相位延遲），包含*種數(shù)據(jù)擬合度評(píng)價(jià)指標(biāo)***/*** ；（提供軟件截圖予以佐證） *、偏振差值：自動(dòng)計(jì)算***-****和*****-**** 差值數(shù)據(jù)（提供軟件截圖予以佐證） **、分析軟件：內(nèi)置***多種光學(xué)材料**數(shù)據(jù)庫，支持用戶新增和編輯材料庫；具有單層、多層、超薄膜的建模分析能力，包含******、*********、****-*******、*******、**********等模型，支持離線軟件授權(quán)使用，實(shí)時(shí)采集光強(qiáng)信號(hào)，*鍵導(dǎo)出測試報(bào)告； **、測試電腦： ******* **操作系統(tǒng)，***: **及以上（主頻*.****以上）；內(nèi)存：≥*** ；硬盤：≥**；液晶顯示器：≥**寸； ★**、溫控臺(tái)模塊：支持聯(lián)用橢偏儀樣品臺(tái)，溫控范圍**℃-***℃，樣品區(qū)域*********。

質(zhì)保*年