*、系統概述 *.* 智能嵌鎖，系統蓋板具有智能嵌鎖裝置，確保操作安全； *.* 防腐裝置； *.*設有保護氣體裝置：旋涂過程中對旋轉馬達進行氣流保護； *.* 通信接口，藍牙連接 *、處理腔體 *.* 處理腔體內徑不小于***毫米； *.* *****芯片尺寸至少滿足**-*****直徑的材料，方片*********，無需更換片托； *.* 腔體具有易清潔的***天然聚丙烯材質； *、旋轉馬達 *.* 轉動速度至少滿足*-**,******， *.* 旋涂加速度不小于**,******/***； *.* 馬達旋涂轉速穩定性能誤差不超過±*%； *、控制系統 *.*工藝時間設定范圍至少滿足*-****.****/**** ，精度不超過*.**； *.*配有高精度***可編程的控制器，可存儲不少于**個程序段，每個程序段可設置不少于**個不同步驟的速度狀態； *、配套泵浦 *.* 配套真空泵系統：無油型 ****，****, 功率****； *.* 無油真空泵，真空度-*******，流量***/***； *、系統附件 *.* 原裝進口水平測試儀； *.* 兩袋密封圈； *.* 配有兩套可更換的廢液接收單元；

*-*. 設備保修期為設備驗收合格后*年(保修期內免費提供非人為因素損壞的備件及服務)，并長期提供技術支持。 *-* 機器發生故障時,供方在**小時內明確回復。 *-* 如果未能解決問題,供方工程師應在*個工作日內與用方達成故障解決方案。 *-*設備保修期內，損壞的備件原則上賣方應在*個工作日內明確回復備件的交貨期限。并當供方國內倉庫有備件庫存時,在*個工作日內寄出。 *-* 保修期結束后，供方應在收到買方定單后*個工作日內明確回復備件的交貨期限。 *-* 保修期結束后，供方應優惠供應相關備件。涉及的相關技術服務盡量免費解決，不可避免的收費項目，賣方應提供優惠，屆時協商解決。 *-* 供方承諾向用方長期優惠供應設備相關的耗材。